洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度...
对于洁净室的污染源主要指微尘和细菌二大类 外部污染源 大气尘的浓度 大气尘是洁净室要直接处理的对象,在洁净技术中, *常用的是以≥0.5μm的微粒数量为准的计数浓度,以 *干净的同温层(距地表10km)来说,这样的微粒约有20粒/L,很干净的海面上空约有2600粒/L。陆地上计数浓度差别极大,同一地区不同时间差别也很大,我国大气计数浓度可粗分为“工业城市”、 “城市郊外”、“非工业区...
摘要:无尘车间等级划分 半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在半导体工 半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机...
摘要 本文介绍一种通过对TS型洁净室空气中沉降菌的测试,来评定该洁净室洁净度的测试方法——沉降法。 关键词 洁净室 洁净度 含尘浓度 菌落 沉降菌 测试 TS型装置式洁净室是一种利用空气单向气流(水平平行流)进行层流过滤,并经多级净化,再由送风单元将净化后空气送至工作区,如此反复循环工作的高洁净度洁净室。TS洁净室还配备TSFL型风淋室一台,风淋室安装在洁净室的入口处,操作人员...
设计、施工和调试是保证净化空调系统正常运行的三个重要环节,对于净化空调系统的设计和施工不少书籍和文献已经作了专门的介绍,但对于净化空调系统的调试,以及调试中常常碰到哪些实际问题,资料相对贫乏。作者在进行多个净化空调调试过程中,发现如下几个需要注意和探讨的问题。 1 洁净室回风口变为送风口的问题 按照工艺要求,相邻洁净室之间都要保证有一定的静压差,一方面是在门窗紧闭的情况下防止洁净程度低的...